Hantering av wafer/retiklar
Hantering av 200 mm wafer
Ett brett urval produkter och tjänster som utvecklats för att hantera de automatiserings-, kontaminerings- och produktivitetsutmaningar som förekommer på dagens anläggningar för tillverkning av 200 mm wafer.
Hantering av 150 mm wafer
För att tillgodose halvledarindustrins krav på avancerad hantering av 150 mm wafer erbjuder Entegris en mängd olika lösningar för frakt och hantering av skivor för säker transport av kiselskivor i dagens anläggningar för tillverkning av 150 mm wafer.
Hantering av 125 mm- och mindre wafer
Ett brett utbud av produkter för hantering av 125 mm och mindre wafer för säker transport och skydd av kiselskivor.
Transportlådor för solceller/LCD, andra transportlådor och labbutrustning
Ett stort sortiment av transportlådor, korgar, handtag och labbutrustning för olika behov av kiselskivehantering.
Hantering av masker och retiklar
En mängd olika produkter för hantering av masker och retiklar av olika storlekar.
SMIF-podar för retiklar
En serie SMIF-podar för retiklar som är utformade för att skydda, förvara och transportera värdefulla litografiretiklar. Entegris retikelpodar ger användarna fördelarna med en kostnadseffektiv design kombinerat med en extremt hög nivå av kontamineringsskydd.
Contact us