Filtrering

Entegris levererar filtreringslösningar som bygger på många olika typer av medieteknik och prestandakriterier. De tillhandahåller även analyser för att upptäcka kontaminering i tekniska miljöer och analysera/validera material.

Gasfiltrering

Filterteknik med nickel, rostfritt stål och Teflon®. Entegris ultrarena gasfiltreringsprodukter ger en partikelfiltrering ned till 0,003 µm för ultrarengas applikationer. Med Wafergard® gasfilter möjliggörs en högre genomströmning av processgas samtidigt som det totala utsläppet från gasbehållaren minskar. Entegris ultrarena gasfiltreringsprodukter används av alla de större OEM-halvledartillverkarna och tillverkarna av verktyg för etsade implantat och CVD-, PVD- och jonimplantat liksom för andra högprestandaapplikationer som fotovoltaiska komponenter, platta bildskärmar, datalagring och HBLED (ljusstarka lysdioder), life science och litiumjonbatterier. Entegris integrerar sina gasfilter i våra gasrenare för att framställa process- och reningsgaser som är fria från såväl molekyl- som partikelkontaminering.

Vätskefiltrering

Kontamineringskontroll i processvätskor. Kontamineringskontrollen fortsätter att utvecklas och möjliggör tekniska framsteg och ett förbättrat utbyte inom applikationer för halvledare, platta bildskärmar, datalagringsenheter, fotovoltaiska celler, life science och tillverkning av litiumjonbatterier. CMP-slurry, syror, baser, fotokemi och avjoniserat vatten kräver alla avancerad filtrering för att avlägsna defektalstrande partiklar och ansamlingar innan de når skivans eller substratets yta. Entegris erbjuder ett fullsortiment av filter som löser de problem med kontamineringskontroll som kunderna står inför.

Kontakta Oss