Rening

Gasrening
Oorganiska regenererbara medier som renar gas vid rumstemperatur till ppt-nivåer. Entegris innovativa produkter och tekniska lösningar för kontroll av mikrokontaminering i gas ser till att våra kunder är utrustade med den senaste tekniken och beredda för de utmaningar som morgondagens avancerade enheter, solceller, life science och litiumjonbatterier för med sig.

Vätskerening
Borttagning av metalljonskontaminanter. Entegris vätskereningsteknik ger det optimala skyddet mot metalljonskontaminering genom borttagning i ett svep av metalljoner från ultrarent vatten och vissa organiska lösningsmedel. Perfekt för känslig rengöring inklusive sköljning med avjoniserat vatten vid återcirkulation och processverktyg för enkelsvep, torkning av skivor och rengöring efter CMP.

Kontakta Oss